激光外延片

芯辰半导体（苏州）有限公司三台（一期）量产型外延机台均调试完毕，目前可量产：1654nm(3 inch)、1550nm(3 inch)、1310nm(3 inch)、1064nm(4 inch)、940nm(4 inch)、905nm(4 inch)、850nm (4 inch)、808nm(4 inch)等波段的半导体激光器外延片，波长均匀性小于2 nm。可以进行外延的材料体系包括InGaAsP、AlGaInAs、InGaAs、InGaP等，波长涵盖760 nm~1700 nm（可定制波长及材料外延结构）；配套的测试机台包括Hall、PL、HRXRD等。